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桌面型匀胶机
产品型号：MSC-75T
产品品牌：APEX
产品类别：新设备
本公司自行研发、设计、生产的桌面型匀胶机，采用目前知名的板材生产厂商，具有以下几点特点： 1、主要用途：半导体工艺中充当旋转涂布的角色 2、最高旋涂速度：10000RPM/S 3、液晶显示触摸屏 4、程控多段控制 5、均匀性方向面向科研及工业 在光刻工艺前，需要将光刻胶（一种光敏化学材料）均匀地涂在硅晶圆表面
本匀胶设备搭配真空可吸附吸盘，满足10mm，20mm，2英寸晶圆的匀胶工艺，设备最高转速可达10000RPM/S，在桌面匀胶均匀性上面搭配真空吸附功能和SUS 盆罩设计，极大的保障了在匀胶过程中高速旋转带来的安全隐患。 该设备多用于高校研究所实验平台居多，合作客户有西安交通大学，武汉大学，华中科技大学，苏州大学，南昌大学，合肥工业大学，四川大学等等高校
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