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一种利用射频激发气体形成等离子体，在基底表面沉积薄膜的分析仪器。
可制备各种金属膜、无机膜和有机膜，在半导体制造、太阳能电池、涂层技术、显示面板等领域都有着广泛的应用。
1.包括一个传片腔和一个反应腔。传片腔内配置了一个单臂真空机械手，容纳2个卡匣，每个卡匣可装载25片8寸或6寸晶圆。反应腔内有6个晶圆放置站，其中5个沉积站，1个传片站。
2.配置的气箱可配置8路气路，包含了沉积工艺气体和清洁气体。可沉积SiO2, SiN薄膜。
3.人机界面交互方便，易操作。&nbs
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