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桌面型快速退火炉

产品型号：

产品品牌：APEX

产品类别：桌面型退火设备

产品介绍
技术参数
此设备以 “极速、精准、安全” 为核心，通过 红外毫秒级响应 解决传统退火的热扩散难题，凭借 多区动态温控 确保工艺一致性，为实验室提供 替代大型RTP系统 的桌面解决方案，显著降低热预算与研发成本。
最大产品尺寸 ：6寸晶圆或者最大支持150x150mm产品
温度范围 ：室温~1250℃
最高升温速度 ：100℃/s可编程(此温度为不含载盘的升温速度)
温度均匀度 ：±5℃≤ 500℃  ±1% >500℃
温度控制重复性： ±1℃
温控方式 ：快速 PID 温控
衬底冷却方式 ：氮气吹扫
工艺气体： MFC控制，
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