RIE150-1反应离子刻蚀系统
产品型号：RIE150-1
产品品牌：APEX
产品类别：反应离子刻蚀
专为 6英寸（150mm）晶圆/基片设计的紧凑型干法刻蚀系统
刻蚀均匀性：≤±5%（6英寸圆片）；
刻蚀速率：0.1～4μm/min(视具体材料与工艺)；
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