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电脑式HMDS涂胶机

产品型号： APEX-40 电脑式HMDS涂胶机

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产品介绍

技术参数

通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

内胆尺寸：450X450X450mm 外尺寸:W1030*H1730*L900mm 容积：90L
载物托架：2块
室温+30℃-200℃（最高温度250℃）控温范围：温度分辨率：0.1℃ 温度波动度：±0.5℃
真空泵：采用防油泵，旋片式油泵真空度：133pa，
加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板
可放2寸晶圆片,4寸晶圆片,6寸晶圆片,8寸晶圆片,12寸晶圆片

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