当前位置: > 产品中心
产品中心

烤胶机

产品型号:HP8

产品品牌:APEX

产品类别:新设备

专为 6英寸(150mm) 和 8英寸(200mm) 晶圆/基片设计的精密烘烤设备,集成多工位加热、智能温控及快速热转换功能

产品介绍
技术参数
满足光刻胶预烘(PB)、后烘(PEB)及溶剂挥发等关键工艺需求,适用于半导体、MEMS、封装等领域的研发与小批量生产

控温范围:室温~250℃

温度分辨率:0.1℃

控温精度:±0.2℃

温度均匀性:±1.5%(200返回上页

版权所有©爱佩克斯(北京)科技有限公司   电 话:13911322033

地 址:北京市丰台区郭公庄中街20号院3号楼11层1103-A15