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Plasma 等离子清洗

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产品中心

桌面型显影机

产品型号：MSD-200D

产品品牌：APEX

产品类别：新设备

专为8英寸（200mm）晶圆或基片设计的紧凑型桌面显影设备，集成高精度喷淋、温控及流程自动化功能，满足科研、小批量生产中对光刻胶显影工艺的严苛要求，适用于半导体、光电子及MEMS等领域的精细制程

产品介绍

技术参数

此款8英寸桌面显影机以 “精准、安全、紧凑” 为核心，通过动态喷淋优化均匀性、恒温抑制工艺波动、密闭设计保障安全，解决了小规模研发与生产中显影工艺的痛点，为用户提供 “桌边一站式” 的图形化解决方案，显著提升实验效率与工艺良率

外壳材质/Appearance Material:SUS

处理样品尺寸/size 8寸以内

承盘/ Substrate chuck material:PTFE

马达/Servo Motor:

AC Servo Motor, 20-3000 R.P.M

Spin speed accuracy :+/- 1 rpm

地址：北京市丰台区郭公庄中街20号院3号楼11层1103-A15