_爱佩克斯（北京）科技有限公司

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产品中心

桌面型匀胶机

产品型号：MSC-150T-B

产品品牌：APEX

产品类别：新设备

一款结构紧凑、操作便捷的高精度台式匀胶设备，专为兼容处理6英寸 (150mm) 和 8英寸 (200mm) 晶圆、基片或其他平整样品而设计。适用于科研实验室、教学环境以及小规模生产中对光刻胶、功能涂层等溶液进行均匀旋涂的精密需求

产品介绍

技术参数

本设备用于硅片等的表面涂布工艺生产，将基材涂上一层特定的光刻胶、感光涂料或油

墨，取出后在进行后道烘干工艺。

特点：

1.7寸触屏+进口电机操作方便，质量更稳定；

1. 整机用料更扎实、机身重量更重、电机功率更大、有效保障运行过程中平稳几乎无震动；

2. 吸盘平整度精细加工平磨，均匀性更好，可达1%以内；

3. 电气元器件独立集成在机身侧面空间，有效避免因腔体漏液渗到设备内部导致短路风

险；

4. 配置光胶过滤器和废液桶，清洗保养更方便，及时清理避免堵胶带来飞片风险；

5. 有真空负压数值显示和低真空报警装置，有效提醒因负压不足带来飞片风险；

6. 提供工艺支持，避免客户购买不适宜产品带来损失风险。

适用基板尺寸: 8 寸以内晶圆（内腔尺寸 280mm)

设备尺寸：宽 500mm*深 500mm*高 400mm

外观:本体为镜面不锈钢板,腔体材质：PTFE

排放管路系统置于机台背部

机台支脚具高低调整功能

电控系统

软件: PLC 可程序自动化控制器